真空CF法蘭氣動(dòng)三通角閥
穩定、經(jīng)濟、通用的閥門(mén)組件，適用于需要清潔和耐腐蝕的 高真空 和 超高真空系統的應用。
應用于需要在兩個(gè)偏置端口之間進(jìn)行直線(xiàn)線(xiàn)連接的應用
采用優(yōu)質(zhì)焊接波紋管可實(shí)現全開(kāi)啟，從而實(shí)現超大流導。
實(shí)驗室開(kāi)關(guān)次數可達到100萬(wàn)次
閥體材質(zhì):SUS304
波紋管材質(zhì):SUS321
密封方式:氟橡膠
氣動(dòng)開(kāi)啟壓力:1.2 bar
漏率：1.x10 -9 mbar L/s
真空度：1x10 -9 Torr
可承受200°C的間歇烘烤（150°C連續）
多種法蘭接口形式，及驅動(dòng)方式可供選擇。
可提供2D\3D模型，接受非標定制。如有需求可咨詢(xún)銷(xiāo)售工程師。
- 尺寸參數
- 產(chǎn)品特性
